2026年04月23日

住友重機械工業株式会社（本社：東京都品川区、代表取締役社長：渡部敏朗、以下「住友重機械」）と、高知工科大学（高知県香美市、学長：蝶野成臣）の山本哲也総合研究所マテリアルズデザインセンター長らは、共同研究において、住友重機械独自の反応性プラズマ蒸着法（RPD法）を利用し、酸化亜鉛（ZnO）として世界で初めて膜厚10ナノメートルの結晶状態の透明導電膜をガラス基板上に形成する技術を開発しました。
これにより、将来の透明導電膜、バッファ膜・シード膜として研究が進められるZnO膜を、ガラス基板上に極めて薄く結晶状態で形成する手段として、RPD法の有用性が示されました。

詳細は以下PDFをご参照ください。