2026年02月03日

住友重機械工業株式会社 アドバンストテクノロジーズSBU、住友重機械マテリアルソリューションズ株式会社、住重アテックス株式会社は、韓国・ソウルにて2026年2月11日から開催される「SEMICON Korea 2026」に出展いたします。

■日程： 2026年2月11日（水）～13日（金）
■会場： COEX（韓国・ソウル）
■ブース番号：
—アドバンストテクノロジーズSBU
B302（Hall B）
—住友重機械マテリアルソリューションズ・住重アテックス（合同出展）
W801
■公式URL： SEMICON Korea 2026

■出展の見どころ

【アドバンストテクノロジーズSBU】
省エネ性能に特化したクライオポンプと、真空ロボットのパネル展示を行います。

【住友重機械マテリアルソリューションズ】
世界最高クラスのイオン注入装置と超高周波UVレーザアニール装置を使ったSiC向けのソリューションをご提案いたします。
また各アプリケーションにあったイオン注入装置/レーザアニール装置をパネル展示いたします。

【住重アテックス】
高エネルギーイオン照射技術を活用したSi・SiC向けの照射ソリューションを紹介いたします。
また、キャリアライフタイム制御やSF-KHII®など、対象デバイスに応じた照射サービスをパネル展示いたします。

皆様のご来場を心よりお待ちしております。