2025年10月22日

住友重機械工業株式会社 メカトロニクス事業部、産業機器事業部、精密機器事業部は、2025年12月17日(水)から12月19日(金)にかけて「SEMICON JAPAN 2025」に出展します。

【展示会概要】
■開催期間：2025年12月17日(水)～12月19日(金)　10:00-17:00
■会場：東京ビッグサイト
■出展場所：西2ホール（1階）　小間番号W2637
■公式サイト：SEMICON Japan 2025

【メカトロニクス事業部】
次世代の半導体製造を支えるナノレベルの位置決めステージを出展します。

・CA / CS シリーズ
独自技術で真空条件下でもナノレベルの位置決めを提供。エア駆動のため、真空チャンバ—内での発熱がなく、主要部品がセラミックスのため電子線を使用する装置に最適です。

・SA-GⅡシリーズ
ナノレベルの位置決めを高精度で実現。当社独自の反力処理ユニットにより、高加減速移動時にステージの振動を最小限に抑え、高い位置決め精度と整定待ち時間の短縮を実現します。また、オプション搭載部品を使用すれば、お客様独自の用途に合わせてZΘTiltも一括設計・製造する等、カスタマイズも可能です。


【産業機器事業部】
高品質な酸化を低温で実現する「Reactive Nion©（反応性酸素負イオン照射装置）」および「反応性プラズマ成膜装置 RPD（Reactive Plasma Deposition）」、「MCZ用超電導マグネット」を出展(パネル展示)いたします。

【精密機器事業部】
省エネに特化したクライオポンプ（実機展示）および真空ロボット（パネル展示）を出展いたします。


皆様のご来場を心よりお待ち申し上げます。