2024年12月02日

住友重機械工業株式会社 精密機器事業部、産業機器事業部、メカトロニクス事業部、住友重機械イオンテクノロジー株式会社は、「SEMICON Japan 2024」に出展します。

■開催期間：2024年12月11日(水)～12月13日(金)　10：00～17：00
■会場：東京ビッグサイト
■展示ブース場所：東4ホール　小間番号4629（精密機器事業部、産業機器事業部）、東5ホール　小間番号5137（住友重機械イオンテクノロジー㈱、メカトロニクス事業部）
■公式サイト：SEMICON Japan 2024
※ご来場の際は事前登録が必要です。

【出展の見どころ】
精密機器事業部
省エネに特化したクライオポンプ（実機展示）および真空ロボット（パネル展示）を出展いたします。

産業機器事業部
高品質な酸化を低温で実現する「Reactive Nion©（反応性酸素負イオン照射装置）」および「反応性プラズマ成膜装置 RPD（Reactive Plasma Deposition）」、「MCZ用超電導マグネット」を出展(パネル展示)いたします。

メカトロニクス事業部
次世代の半導体製造を支えるナノレベルの位置決めステージを出展します。
・CA / CS シリーズ
独自技術で真空条件下でもナノレベルの位置決めを提供。エア駆動のため、真空チャンバ—内での発熱がなく、主要部品がセラミックスのため電子線を使用する装置に最適です。
・SA-GⅡシリーズ
ナノレベルの位置決めを高精度で実現。当社独自の反力処理ユニットにより、高加減速移動時にステージの振動を最小限に抑え、高い位置決め精度と整定待ち時間の短縮を実現します。また、オプション搭載部品を使用すれば、お客様独自の用途に合わせてZΘTiltも一括設計・製造する等、カスタマイズも可能です。

住友重機械イオンテクノロジー株式会社
様々な用途に応じて、高電流・中電流・高エネルギーの各種イオン注入装置をご提案しております。
また、イメージセンサ市場向けとしての新装置SS-UHEⅡのご紹介も行っております。

皆様のご来場を心よりお待ち申し上げます。