レーザ関連装置

独自のダブルパルスプロセスを可能に。半導体用のレーザアニーリング装置

当社は1988年にレーザビジネスに参入しました。当時、産業用途でのレーザ採用は限定的でしたが、当社独自の光ハンドリング技術と機械メーカならではのシステム設計を融合し、広く産業界でのレーザ普及に貢献してまいりました。 現在はファイバレーザシステム、半導体向けアニール装置、プリント基板向けレーザドリル装置に加え、フェムト秒レーザ、エキシマレーザなど、幅広い光源を採用できるレーザシステムインテグレータとし、お客様のニーズに対応しております。

特長

レーザシステム

ファイバレーザ
英国SPI社製のファイバレーザを軸に、各種ファイバレーザを取扱っています。
発振器単体の供給から専用システムまで、お客様のご要求に応じた
提案をいたします。
その他光源
フェムト秒レーザ、エキシマレーザ等。

レーザアニール装置

パワー半導体用レーザアニール装置では世界随一の販売実績を誇ります。※
被加工対象物に応じ3種類の光源を使分け、自動搬送有無が選択可能です。
R&D用途から量産まで、豊富なラインアップを取り揃えております。

  • 2017年当社調べ

レーザドリル装置

当社独自のツインガルバノを搭載した高速レーザドリルマシンです。
パッケージ基板からマザーボードまで、幅広い加工に対応した高い生産性をご提供します。
各種基板材料に対して、多彩な加工条件に対応し、高品質加工を実現した次世代型CO2レーザドリルマシンです。

製品ラインアップ

この製品に関する情報・お問い合わせについて
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メカトロニクス事業部

【お問い合わせ対象製品】
精密位置決め装置、レーザアニーリング装置、レーザドリル装置、制御システム、モーションコンポーネント、協働ロボット