精密位置決め装置

ナノテクノロジーをリードする XYステージ

FPD・半導体製造装置の精密位置決めに用いるXYステージを取り扱っています。総合機械メーカとして培った、機構技術と独自の制御技術により、ナノメートルオーダの高い位置決め精度を実現します。

特長

SA/SL Series 小型サーフェイスステージ

  1. 1低重心H型構造採用による高い速度安定性、位置決め精度を実現。
  2. 2搭載部品をオプション化することによりさまざまなお客様のニーズに対応可能。
  3. 3高速高加減速(1m/s、1G)時における高精度駆動を実現する反力処理機構。

用途

  • 半導体/プリント基板
  • 露光・高精度検査装置用XYステージ

TL Series スタック型リニアガイドステージ

  1. 1高精度、高スループットのステージを低価格で提供。
  2. 2リニアモータ駆動ステージによる高スループットを実現。
  3. 3独自の反力処理機構による高精度位置決めを実現。

用途

  • 半導体/プリント基板
  • 検査・加工装置用XYステージ

製品ラインアップ

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メカトロニクス事業部

【お問い合わせ対象製品】
精密位置決め装置、レーザアニーリング装置、レーザドリル装置、制御システム、モーションコンポーネント