クライオポンプ

省エネルギー (マルチ運転)、安定した性能、ダウンタイム短縮 (排気性能等)

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特長

クライオポンプとは

真空ポンプのひとつです。
真空ポンプは、気体輸送式と気体溜め込み式とに分類されます。また、動作圧力範囲での分類として、低真空~中真空用ポンプと高真空~超高真空用ポンプに分けられます。低真空~中真空用ポンプには油回転ポンプ、ドライポンプがあり、高真空~超高真空用ポンプにはターボ分子ポンプ、クライオポンプ、スパッタイオンポンプ、油拡散ポンプがあります。

クライオポンプには次のような特徴があります。

  • 排気速度(特に水素、水蒸気に対して)が早い
  • 溜め込み式だが最大排気流量(スループット)が大きい
  • 完全にオイルフリーな真空が得られる
  • 定期的に溜め込んだ気体の放出(再生操作)が必要
  • ケミカルな気体(酸素、オゾン含む)の排気は不可
  • H2Oは、100 K (1stパネル、シールド板)に凝縮され、排気されます。
  • Ar、N2は、8-12K(2ndパネル)に凝縮され、排気されます。
  • H2、Ne、Heは、8-12K(活性炭)に吸着され、排気されます。

当社はSICERA®とMarathon®の2つのタイプのクライオポンプを販売しています。

SICERA®

SICERA®とは、 S:Sumitomo I:Inverter integrated C:Cryopump with E:Energy R:Reduction A:Advantage を略した名前で、以下の特長があります。

  1. 1個別制御が可能なマルチポンプシステム

    最大11台の8インチポンプを1台の圧縮機で運転可

  2. 2高信頼性

    豊富なクライオポンプ用冷凍機の実績

  3. 3高い省エネ効果

    当社製従来比△40%:10.3kW → 6.1kW(8インチポンプの8台運転時)

    ※上記数値は参考値です。使用状況によって変動します。

  4. 4Arガス吸蔵量

    当社製従来比2倍:8インチタイプで1,000リットル → 2,000リットル

Marathon®

もうひとつのクライオポンプであるMarathon®は、米国拠点の Sumitomo(SHI) Cryogenics of America, Inc. が生産しており、以下の特長があります。

  1. 1

    独自のパネルデザイン

  2. 2

    大きな水素ガスの排気容量

  3. 3

    長い再生サイクルと短い再生時間

  4. 4

    8-20インチサイズまで幅広い対応可能

グローバル・ネットワーク

世界中のお客様を支援するために、販売・サービス・製造のグローバル・ネットワークを構築し、共通の品質と性能の提供に努めています。

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