MCZ用超電導マグネット

シリコン単結晶引き上げ装置に高磁場源として適用される住友重機械の超電導マグネットは、液体ヘリウムを使用せず自社製冷凍機のみで冷却する安全で信頼性の高い装置です。

（特許） 特許第3609312号、　特許第4749661号

水平磁場型超電導マグネット

4個の超電導コイルでシリコン融液に水平磁場を印加します。

カスプ磁場型マグネット

上下1対（2個）の超電導コイルでシリコン融液にカスプ磁場を印加します。