お知らせ 2008年度
お知らせ
「高精度位置決め装置」累計1,000台出荷を達成

2008年09月30日

住友重機械工業株式会社(社長 中村 吉伸)は、このたび高精度位置決め装置(XYステージ※)の累計出荷台数1,000台を達成しました。

当社のXYステージ事業は、1987年のX線露光用XYステージ開発に始まり、1999年にFPD(フラットパネルディスプレイ)市場、2001年には半導体市場へ参入しました。
FPD市場では近年、液晶ガラス基板の大型化にともない、液晶パネル製造装置向けXYステージも大型化が進んでいます。当社は得意とする大型機械対応能力を活かし、同市場で高いシェアを獲得しています。また半導体市場では、微細化加工の増加にともない半導体製造装置向けXYステージも高精度化が進み、超精密XYステージが市場から高い評価を受けています。


■製品について
当社では、ボールネジを使った汎用ステージからリニアモータ駆動の超精密ステージまで、幅広いラインアップを備えています。なかでもリニアモータの内製化により、ナノ(10億分の1)メートルレベルの高精度な位値決めを得意としています。
主な製品としては
・FPD製造装置向けのガントリ移動型リニアガイドステージ GLシリーズ
・半導体製造装置向けの小型サーフェスステージ SA&SLシリーズ(Nanoplane®)
などがあります。

今後もFPD・半導体市場だけでなく、太陽電池や有機EL市場への展開を拡大させ、市場対応力を強化し、ユーザの期待にきめ細かく応えることができるメーカとして努力していきます。

※XYステージ
基板、ウェハなどの加工対象物をX軸(左右)方向とY軸(縦)方向に移動、位置決めする機構。液晶パネルや、半導体ウェハの製造、検査工程に使用されます。

XYステージ