お知らせ 2005年度
お知らせ
精密位置決め装置、岡山製造所内の工場増設を完了

2005年12月16日

住友重機械工業株式会社(社長 日納義郎)は、岡山製造所(岡山県倉敷市)において、精密位置決め装置(XYステージ)工場の第4期拡張工事を進めてきましたが、このほど完成し、生産を開始しましたのでお知らせします。

岡山製造所のステージ工場では、液晶パネル製造装置用の精密XYステージを生産しています。クリーンルームの面積を10,190m2から11,818m2へ拡張したことで、岡山での生産能力を年間200台から250台に引き上げました。今回の増設は昨年10月の増設に続き、4期目の増設工事となります。当社は、1998年より、半導体や液晶の製造・検査装置に組み込む精密XYステージの製造を開始しました。液晶関連の大型ステージの需要が拡大してきたため、2003年より液晶分野向け精密XYステージの専用工場を岡山製造所内に建設し、これに対応してきました。

第4期工場では、第6世代以上の基板に対応した大型XYステージを製造するため、装置の大型化に対応した門型クレーンを設置するとともに、搬送用として積載重量30トン超のエア浮上式搬送台車を備えるなど、大型精密機器の製造に対応した設備にしています。


(クリーンルーム増設の概要)
  着 工  2005年 9月21日  
  竣 工  2005年12月 8日
  拡張面積 1,628m2 (総面積 11,818m2)
  製造品目 液晶パネル製造・検査装置用大型XYステージなどの精密位置決め装置

クリーンルーム