お知らせ 2004年度
お知らせ
精密位置決め装置、岡山製造所内の増設を完了

2004年10月05日

住友重機械工業株式会社(社長 日納義郎)は、岡山製造所(岡山県倉敷市)において、精密位置決め装置(XYステージ)工場の第3期拡張を進めてきましたが、このほど完成し、生産を開始しましたのでお知らせします。

岡山製造所のステージ工場では、液晶パネル製造装置用の精密XYステージを生産しています。  今回、クリーンルームの面積を5,870m2から10,190m2へ拡張したことで、岡山での 生産能力を年間130台から200台に引き上げました。今回の増設は昨年4月、10月の増設に続き、3期目の増設工事となります。当社は、1998年より、田無製造所(東京都西東京市)を拠点として半導体や液晶の製造・検査装置に組み込む精密XYステージの製造を開始しました。液晶関連の大型ステージの需要が拡大してきたため、昨年初めより液晶分野向け精密XYステージの専用工場を岡山製造所内に完成させ、これに対応してきました。

本工場では、第6、第7世代の基板に対応した大型XYステージを製造するため、装置の大型化に対応した門型クレーン2基を増設するとともに、搬送用として積載重量30トン超のエア浮上式搬送台車を備えるなど、大型精密機器の製造に対応した設備にしています。拡張したエリアは、それぞれに室温調整が可能な、2個の独立した空間に分割することができ、半導体製造装置用の超精密ステージなど、今後半導体向けにも対応させていきます。


(クリーンルーム増設の概要)
  着 工  2004年 6月 7日
  竣 工  2004年10月 5日
  拡張面積 4,320m2 (総面積10,190m2)
  製造品目
    液晶パネル製造・検査装置用大型XYステージなどの精密位置決め装置

新工場内部