お知らせ 2003年度
お知らせ
精密位置決め装置、岡山製造所内の増設を完了

2003年10月22日

住友重機械工業株式会社(社長 日納義郎)は、岡山製造所(岡山県倉敷市)において、精密位置決め装置(XYステージ)工場の拡張を進めてきましたが、このほど完成し、生産を開始しましたのでお知らせします。

岡山製造所のステージ工場では、液晶パネル製造装置用のXYステージを生産しています。
今回、クリーンルームの面積を2,520m2から5,870m2へ拡張したことで、岡山での 生産能力を年間35台から100台に引き上げました。本工場は、第6、第7世代の基板に  対応した大型XYステージを製造するため、装置の大型化に対応した門型クレーン2基を増設するとともに、既存エリアとの搬送用として、積載重量30トン超のエア浮上式搬送台車を備えるなど、大型精密機器の製造に対応した設備にしています。拡張したエリアは、それぞれに室温調整が可能な、3つの独立した空間に分割することができ、半導体製造装置用の超精密ステージなど、様々な製品を同時に組み立てることも可能です。
当社は、1998年より、田無製造所(東京都西東京市)を拠点として半導体や液晶の製造・検査装置に組み込む精密XYステージの製造を開始しました。昨年から液晶関連の大型ステージの需要が急伸したため、本年初めに液晶分野向けXYステージの専用工場を岡山製造所内に完成させ、これに対応してきました。

(クリーンルーム増設の概要)
着 工  2003年8月8日
竣 工 2003年10月22日
拡張面積 3,350m2 (総面積5,870m2)
製造品目 液晶パネル製造・検査装置用大型XYステージなどの精密位置決め装置