お知らせ 2001年度
お知らせ
液晶・半導体製造装置用精密位置決め装置MODEL SLHU-100を発売

2001年07月16日

住友重機械工業株式会社(社長 日納義郎)は、液晶・半導体・光情報通信のデバイス製造、検査装置向けに精密位置決め装置(XYステージ)「Nanoplane」シリーズを販売しております。このたび3軸の精密XYZステージMODEL SLHU-100を開発し製造、販売を開始しました。

デバイスの微細化、高度化は日進月歩を続けており、製造・検査装置に使用される位置決め装置は、これまでの二次元(XY)の運動精度の向上に加え、ステージの上下運動を加えた三次元(XYZ)の運動精度の向上が求められています。
MODEL SLHU-100では、当社独自の平面構造を採用し、XYZの3軸共リニアモータとエアーベアリングによる完全非接触駆動となっており、高精度に加えてクリーン性、メンテナンスフリーを実現しています。さらにZ軸には精度向上のため、エアーバランス機構を採用しております。また、平面構造、精密加工のセラミック部材の採用で真直度(注1)0.3μmを達成致しました。制御機構には当社独自開発の制御技術「外乱オブザーバー」と「アクテイブ・ヨー・コントロール」を搭載し、ステージの外乱を制御し、ヨーモーションを最小に押さえて追随誤差(注2)XY:±0.1μm、Z:±0.3μmと、ボールネジ駆動のXYZステージに比べ10分の1以下の高精度を達成しています。

※ 「Nanoplane」は住友重機械の登録商標です。

1. 精密XYZステージMODEL SLHU-100の特徴
(1) XYZ軸共リニアモータとエアベアリングを採用し、完全非接触構造によりクリーン性、メン テナンスフリーを実現。
(2) 独自開発の高性能、低コストのリニアモータを採用。
(3) 当社独自の平面構造、精密加工のセラミック部材の採用により高精度を実現。
(4) 当社独自の制御機構「外乱オブザーバー」「アクテイブ・ヨー・コントロール」の採用により、高い追随精度を達成。

2. 主要仕様:


X軸
Y軸
Z軸
 1) ストローク:
100mm
50mm
50mm
 2) 駆動方式:
 リニアモータ+エアーベアリング
 3) 最高速度:
30mm/s
30mm/s
30mm/s
 4) 追随誤差:
±0.1μm
±0.1μm
±0.3μm
 5)真直度(垂直水平):
0.3μm
0.3μm
0.3μm

3. 標準価格:3000万円(仕様により異なります)

(注1) 真直度:直線軌跡に対する運動時の垂直・水平方向の位置誤差
(注2) 追随誤差:スキャニング動作時における指令位置と実際の位置の誤差

MODEL SLHU-100