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技術系社員

機械学習やIoTを駆使したイオン注入装置の制御。AIエンジニアが取り組むべきテーマは山ほどある。

山口 幹夫 Mikio Yamaguchi 住友重機械イオンテクノロジー株式会社 開発部 ソフトウェアグループ 2016年入社 先端物質科学研究科量子物質科学専攻修了

社会を、暮らしを支える半導体。
その製造プロセスの核となる
イオン注入装置の開発に取り組む。

半導体製造プロセスにおいて欠かせない存在であるイオン注入装置。ウェハの中に不純物となるイオンを打ち込み、電気的特性を変化させることによって半導体としての機能を付加する装置です。住友重機械は、このイオン注入装置における世界でも有数のメーカーであり、国内ではトップシェアを誇ります。私は、このイオン注入装置を制御するソフトウェアの開発に携わっています。
半導体の微細化が進むにつれて、イオン注入装置にもイオンを打ち込む角度、深さなど高精度の制御が求められています。また、稼働の安定化や操作の効率化といった改善もソフトウェア開発において欠かせないテーマ。イオン注入の制御にはソフトウェアばかりでなく、物理や電気などハードウェアに関しての深い知識が必要になります。そこが、私が感じるこの開発の面白さでもあるのです。

ある1日のスケジュール

8時~ 出社。メールチェック、スケジュールの確認など

8時30分~12時 製造現場に出向き、試験装置でのソフトウェア評価、修正

13時~14時 グループ内および関連部署との新機能に関するレビュー

14時~17時 ソフトウェア設計およびコーディング

先端技術を駆使して
最適解を導き出す。

次世代を見据えた新しい手法にも積極的にチャレンジしています。私が現在取り組む、機械学習もその一つ。お客様の製造ラインでイオン注入を実施する場合、お客様に指定される注入条件ごとに、制御パラメーターを調整する必要があります。その際、毎回異なる事前の注入条件の内容を加味した最適な値に調整しなければなりません。現在は、蓄積した知見をベースに、エンジニアが多くの時間をかけて行っています。このような作業を、AIの一つである機械学習を取り込むことによって効率化しようというのが開発のテーマです。
また、IoTによる装置の監視・管理にも取り組んでいます。お客様の工場で稼働する複数のイオン注入装置をセキュアなネットワークで結び、このネットワークを介して収集するデータをもとにイオン注入装置の稼働をリアルタイムに管理しようというものです。 これらのデータを分析することによって自動診断などが可能となり、故障を未然に防ぐことができます。

「やりたい!」と手をあげれば
それをしっかり受け止めてくれる
アクティブな土壌がある。

機械学習の開発テーマは、私が入社1年目に自発的に行った取り組みがきっかけで担当させてもらっています。このように当社には、若手でも「やりたい!」と自分から行動に移せば、それをしっかり受け止めてくれる土壌があります。
イオン注入装置への機械学習の応用は、世界でもまだ前例がないために独りで切り拓かなければならないことも多く、いまでもトライ&エラーの連続です。自分で最新の資料を調べて学び、東京などに出張して興味あるセミナーや勉強会などにも積極的に参加しています。
自由に任せられる部分が大きいために、開発では独りよがりにならないように俯瞰的に考えるように心がけています。イオン注入装置の開発において自分が果たすべき役割は? 求められる価値は? いつもそれらを意識することよって開発の道筋が見えてきます。モチベーションも高まり、新しい発想にもつながるのです。
もうすぐ自分が開発した機械学習システムがイオン注入装置に搭載され、実用化に向けた評価が始まります。いまからその日を楽しみにしています。けれども、それもまだ第一歩。実用化に向けて、取り組むべきテーマは数多くあります。
将来的には、ソフトウェアばかりでなく機械などの分野でも経験を積み、開発プロジェクト全体を統括できるエンジニアになりたいと思っています。さまざまな技術や人に巡り合うことができ、それらをエネルギーにして自ら成長することができる。それも当社の魅力の一つだと感じています。

PROFILE

学生時代、ビーム物理学を学んだ。その知識が活かせるフィールドとして、国内トップシェアの当社を選んだ。「物理的観点をそのままソフトウェアに落とし込むことができる。それが面白いのです」。ゴルフ、ボルダリング、サーフィン、釣り、ドライブ……。西条は暮らしやすく、遊びに事欠かない街だそうだ。