クライオポンプとは

真空ポンプのひとつです。
真空ポンプは、気体輸送式と気体溜め込み式とに分類されます。また、動作圧力範囲の分類として、荒引きポンプと高真空ポンプに分けられます。荒引きポンプには油回転ポンプ、ドライ荒引きポンプがあります。高真空ポンプには、ターボ分子ポンプ、クライオポンプ、スパッタイオンポンプ、油拡散ポンプがあります。

クライオポンプには次のような特長があります。

• 排気速度（特に水蒸気に対して）が早い
• 溜め込み式だがMAX排気流量が大きい
• 完全にオイルフリーな真空が得られる
• 定期的に溜め込んだ気体の放出（再生操作）が必要
• ケミカルな気体の排気は不可

当社はSICERA^®とMarathon^®の2つのタイプのクライオポンプを販売しています。

SICERA^®

SICERA^®とは、 S：Sumitomo I：Inverter integrated C：Cryopump with E：Energy R：Reduction A：Advantage を略した名前で、以下の特長があります。

1. 1個別制御が可能なマルチポンプシステム最大11台の8インチポンプを1台の圧縮機で運転可
2. 2高信頼性豊富なクライオポンプ用冷凍機の実績
3. 3高い省エネ効果当社製従来比△40%：10.3kW → 6.1kW（8インチポンプの8台運転時）
   ※上記数値は参考値です。使用状況によって変動します。
4. 4Arガス吸蔵量当社製従来比2倍：8インチタイプで1,000リットル → 2,000リットル

Marathon^®

もうひとつのクライオポンプであるMarathon^®は、米国拠点の Sumitomo(SHI) Cryogenics of America, Inc. が生産しており、以下の特長があります。

1. 1独自のパネルデザイン
2. 2大きな水素ガスの排気容量
3. 3長い再生サイクルと短い再生時間
4. 48-20インチサイズまで幅広い対応可能