機械システム

メカトロニクスを中心とした要素技術と、それらを応用した精密システム装置の開発を行っています。開発成果は、省エネを目的にしたハイブリッド建設機械、高度デジタル化社会を実現する液晶・半導体装置などの製造プロセスを支えています。

技術

  • アクチュエータ技術
  • 機械設計技術
  • 高精度サーボ制御技術
  • パワーエレクトロニクス技術

用途

  • 省エネ制御装置
  • 精密システム装置

ハイブリッドリフマグ機

ZnO成膜装置

半導体レーザアニール装置