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技術系社員

半導体の製造プロセスを支えるイオン注入装置。日本のトップメーカーとして、世界で競う製品開発に取り組む。

西尾 真則

イオン注入装置の開発は
多様な要素技術を結集させたものづくり。
エンジニアとして成長できる機会も多い。

半導体の製造プロセスで鍵を握るコンポーネントのひとつがイオン注入装置です。シリコンウエハの中に不純物を打ち込み、電気的特性を変化させ半導体としての機能を付加します。イオン注入装置は大きく3つのタイプがありますが、当社は、国内で唯一3タイプすべてを開発・製造する、イオン注入装置の国内トップメーカーです。
このイオン注入装置は、ガスをイオン化してイオンビームの素を生み出すイオンソース、そのイオンビームを静電界や高周波電界を用いて加速し、ウエハまで輸送するためのビームライン、ウエハを高速で搬送する搬送ロボット、これらの機器を精度良く結合するための構造ユニットなど、多様なユニットで構成されています。実は私も、就職活動で当社の工場に見学で来て初めて知ったのですが、その開発・製造は多岐にわたる要素技術を結集させたものづくり。自分の意欲次第でさまざまな最先端技術を学ぶことができ、エンジニアとしても成長できる機会がとても多い世界です。

ある1日のスケジュール

8時~8時30分 出社。メールチェック、スケジュールの確認

8時30分~9時 工場内で評価データの採取

9時~10時 評価データの確認および解析

10時~12時 デスクでCADを使って設計業務

12時~12時45分 昼休み

12時45分~14時30分 新規装置開発に関する技術検討会

14時30分~15時30分 部品メーカーとの打ち合わせ

15時30分~16時45分 お客様からの問い合わせに関する調査

17時 退社

設計要件をとことん検討して
目指すべき装置の姿を明確に思い描く。
エンジニアとしての想像力が大切だ。

入社して4年半、ウエハ搬送系の設計を担当しました。ロボットを使って装置内での搬送を担うユニットです。半導体の微細化が進むなか、イオン注入装置の搬送系ユニットにもより高精度で高速な動作が要求されています。さらに真空度の高い特殊な環境など制約も多く、そこが開発の難しさであり面白さでもあります。
入社3年目に任された新ユニットの開発では、要求される性能をどうしてもクリアできずに試行錯誤を重ねました。自分なりに仮説を立てて、それを検証して……。設計という仕事では、あらかじめ要件をとことん検討して、目指すべき装置の姿をいかに明確に想像できるかが大切。今思い返すと、あのときはエンジニアとしての想像力が足りなかったのだと思います。それでもいくつもの壁を乗り越えてやっとユニットを完成させたときは、苦労も多かっただけに達成感も一層大きかったですね。
イオン注入装置は多数のユニットで構成されるだけに、若いうちから設計を任されるチャンスが多いです。それだけに早く経験を積めて、やりがいを感じる場面が数多くあります。

次世代製品の新規開発に取り組む日々。
ここ日本の愛媛県から、世界へ、
最先端のイオン注入装置を送り出していく。

現在は次世代製品の開発に関わっています。搬送系とはまた違う領域での、新しいチャレンジ。装置全体の構成や付随するユニットなどの開発が主な担当です。
イオン注入装置は多様な技術の集合体だけに、学ぶべきことも数多くあります。まだ経験が足りなくて、設計を進めていても、先輩たちのこれまでの蓄積をお手本にすることがよくあります。これからはもっと自分なりのオリジナルな発想を加えて、機能や品質、省エネ性能など付加価値のある開発に取り組んでいきたいと思っています。
半導体メーカーは全世界に広がっており、当社のお客様にも海外の企業が多くなってきました。現在は新規開発に専念しているために機会は少ないですが、今後はお客様とのミーティングなど海外出張も多くなるはず。ここ日本の愛媛県から、世界に胸を張れるようなイオン注入装置を開発していきたいですね。

PROFILE

地元でもある愛媛県の出身。学生時代は有機半導体の研究に取り組んだ。技術者として成長できるチャンスが数多くあると感じたのが入社の動機だという。休日は趣味の一眼レフカメラを持って旅に出る。好きなアーティストのライブ鑑賞も兼ねて、西日本を旅行することも多いそうだ。