クライオポンプ

省エネルギー (マルチ運転)、安定した性能、ダウンタイム短縮 (排気性能等)

特長

クライオポンプとは

真空ポンプのひとつです。
真空ポンプは、気体輸送式と気体溜め込み式とに分類されます。また、動作圧力範囲の分類として、荒引きポンプと高真空ポンプに分けられます。荒引きポンプには油回転ポンプ、ドライ荒引きポンプがあります。高真空ポンプには、ターボ分子ポンプ、クライオポンプ、スパッタイオンポンプ、油拡散ポンプがあります。

クライオポンプには次のような特長があります。

  • 排気速度(特に水蒸気に対して)が早い
  • 溜め込み式だがMAX排気流量が大きい
  • 完全にオイルフリーな真空が得られる
  • 定期的に溜め込んだ気体の放出(再生操作)が必要
  • ケミカルな気体の排気は不可

当社はSICERA®とMarathon®の2つのタイプのクライオポンプを販売しています。

SICERA®

SICERA®とは、 S:Sumitomo I:Inverter integrated C:Cryopump with E:Energy R:Reduction A:Advantage を略した名前で、以下の特長があります。

  1. 1個別制御が可能なマルチポンプシステム最大11台の8インチポンプを1台の圧縮機で運転可
  2. 2高信頼性豊富なクライオポンプ用冷凍機の実績
  3. 3高い省エネ効果当社製従来比△40%:10.3kW → 6.1kW(8インチポンプの8台運転時)
    ※上記数値は参考値です。使用状況によって変動します。
  4. 4Arガス吸蔵量当社製従来比2倍:8インチタイプで1,000リットル → 2,000リットル

Marathon®

もうひとつのクライオポンプであるMarathon®は、米国拠点の Sumitomo(SHI) Cryogenics of America, Inc. が生産しており、以下の特長があります。

  1. 1独自のパネルデザイン
  2. 2大きな水素ガスの排気容量
  3. 3長い再生サイクルと短い再生時間
  4. 48-20インチサイズまで幅広い対応可能

グローバル・ネットワーク

世界中のお客様を支援するために、販売・サービス・製造のグローバル・ネットワークを構築し、共通の品質と性能の提供に努めています。

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