モーションコンポーネント

製造装置の高精度化・高応答化を実現する 制御コンポーネント

ナノレベルの精密位置決め技術を実現するメカトロニクス事業部の制御コンポーネントは、半導体製造装置・液晶製造装置・精密加工機械中心として超精密・高精度を要求されるあらゆる加工機の制御システムとして採用されています。独自の制御PFをベースとして、お客様の要求に柔軟に応えるセミカスタム対応で、各種製造装置の性能向上に貢献します。

特長

高性能モーションコントローラ MC78

MC78は、高速なサーボ処理と、装置に最適な制御アルゴリズムの組み込みが可能な高性能コントローラです。サーボドライバSDシリーズや位置計測信号処理ユニットPP78などと組み合わせることで、フルデジタルインターフェースによる多軸完全同期制御システムを実現します。

高精度サーボドライバ SDLN/SDPH

SDLNシリーズは、ナノメートルクラスの高精度リニア動作と大出力PWM動作の自動切り替えを可能とした超高性能サーボドライバで、超精密分野用に開発されたリニアアンプを搭載しています。SDPHシリーズは、中・大出力向けに開発されたPWM動作タイプの高性能サーボドライバです。高速スイッチング素子と高精度な電流フィードバック回路の内蔵により高い速度安定性を誇り、短時間での位置決め用途などに威力を発揮します。

コアレスリニアモータ SM/SL/SSL

独自開発のI型コイル形式でサイドフォースの発生を抑制するとともに、磁気回路やコイル配置の設計最適化と精度の高い組み立てによって推力リップルを最小化したリニアモータです。高精度なスキャン動作を可能にします。

エアアクチュエータ Airsonoc 50N

独自開発した制御アルゴリズムとエアベアリング採用により、エア駆動による高速・高精度位置決め、高精度荷重コントロールを実現します。
エア駆動を採用することで、発塵がなくクリーンで発熱もありません。また、エアベアリングを採用することで、グリース塗付なども削除でき、メンテナンス性も格段に向上します。

製品ラインアップ

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メカトロニクス事業部

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