真空成膜装置

『太陽エネルギーから電力』『電気から灯り』エネルギーを有効に活用する“ものづくり技術” に貢献します

太陽電池を構成する光吸収層・電極層の性能を向上させることで、太陽エネルギーを電力に変換する効率を改善し、太陽電池から取り出すことのできる電力を増やすことができます。
また、LEDや有機EL照明に用いられる電極層の性能を向上させることにより、少ない電力で効率よく発光することができます。
エネルギーを有効に活用する装置や製造システムの提供を通じて、地球温暖化の防止や持続可能な社会の実現をお手伝いしています。

特長

住友重機械の成膜装置は、

  • 低抵抗
  • 下地層への低ダメージ
  • 長期間の連続運転が可能
  • 高い放電安定性
  • 高密着性

といった特長があります。

高品質な成膜を可能とすることで、結晶系太陽電池の中でも高効率を実現するハイブリッド型太陽電池の変換効率向上を実現しています。
LEDや有機EL照明においては、発光効率の向上に貢献しています。

こうした特徴を有するRPD(Reactive Plasma Deposition)装置の、試験設備から量産設備まで幅広く対応することができ、お客様のご要望にあわせたご提案を行うことが可能です。

製品ラインアップ

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産業機器事業部

【お問い合わせ対象製品】
真空成膜装置、リフティングマグネット