クリーンルームシステム

温度・湿度・クリーン度の制御によりお客様の最適環境づくりを強力にサポートいたします

当社のクリーンルームシステムは、独自空調システム「クリエコ®」によりランニングコストを削減。また、温度・湿度の高精度制御も可能です。既存の工場や事務所にも内部設備に適応した設計で対応いたします。また、ナノメートルオーダの加工精度が要求される場合は、さらに高精度に温度・湿度を制御できる精密温調装置サーマルキューブ®がございます。

クリーンルームシステムの特長

  1. 1省エネ

独自空調システム「クリエコ®」によりランニングコストを最大60%削減いたします(当社従来比)。

  1. 2高精度温調が可能

クリーン度だけでなく、温度・湿度の高精度制御が可能です(温度±1℃、湿度±5%)。

  1. 3低湿度環境も実現

露点温度-60℃が実現可能です。

  1. 4既設建屋内の既存設備に適応

既存の工場や事務所の内部設備に適応した設計で対応いたします。

  1. 5小面積も対応可能

100m2を下回るような小規模なクリーンルームも対応いたします。
クリーンゾーンの最小化でコストダウンを実現します。

  1. 6クリーンルーム関連機器も豊富にラインアップ

自社製品ですので、豊富な関連機器を低コストで設置いたします。

サーマルキューブ®の特長

  1. 1省エネ

独自の冷媒レヒート方式により電気ヒータ不要の省エネタイプがございます。

  1. 2精密温調(※)が可能

標準品は常温帯で±0.5℃、0.1℃、湿度±2%、5%の制御が可能です。
高精度タイプは±0.05℃の制御が可能です。

  1. 3さまざまなニーズに対応

省エネ型、低湿度型、大風量型など多様な仕様をラインアップしています。
さまざまな用途に対応可能です。また、空気・水・圧縮空気の3流体の温度制御機能が単一の筐体でパッケージ化されている統合精密温調システム「ユニサーマルキューブ」もございます。

  1. 4豊富なアプリケーション例

簡易的なビニールカーテン方式や断熱パネル方式、装置連動の自動シャッター搭載型など対象設備や精度に対応した間仕切りを提供可能です。

  1. 5気流・温度分布シミュレーション

さまざまな条件において信頼性の高い設計を行なうために気流解析を実施し、最適なシステムをご提案いたします。

  • 精密温調とは
    精密温調とは、温度や湿度を非常に高精度に制御する空調方法です。益々高付加価値な製品の生産、加工が増える場面で安定した品質の実現のために精密温調は必須条件の一つです。
    例えば精密加工の場面で温度が1℃変化すると100mmのスチールブロックは約1μm伸縮します。温度と湿度の安定は、他にも光の屈折や溶剤の粘度などさまざまな工程において高品質を確保するための重要な要素です。

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日本スピンドル製造株式会社

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