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メカトロニクスを中心とした要素技術と、それらを応用した精密システム装置の開発を行っています。 開発成果は、省エネを目的にしたハイブリッド建設機械、高度ディジタル化社会を実現する液晶・半導体装置、などの製造プロセスを支えています。
ハイブリッドリフマグ機
ZnO成膜装置
半導体レーザアニール装置