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機械システム

メカトロニクスを中心とした要素技術と、それらを応用した精密システム装置の開発を行っています。
開発成果は、省エネを目的にしたハイブリッド建設機械、高度ディジタル化社会を実現する液晶・半導体装置、などの製造プロセスを支えています。


技術

アクチュエータ技術

機械設計技術

高精度サーボ制御技術

パワーエレクトロニクス技術

用途

省エネ制御装置

精密システム装置


ハイブリッドリフマグ機

ZnO成膜装置

半導体レーザアニール装置


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