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机械系统技术

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从事以电子机械工程为中心的基础技术开发,以及运用这些技术进行精密系统设备的开发。开发成果已经为节能型混合动力工程机械、先进数字化社会的液晶和半导体设备等的制造工艺提供技术支持。


技术

动力传动技术

机械设计技术

高精度伺服控制技术

电力电子技术

用途

节能控制系统

精密控制系统


混合动力型电磁起重机

氧化锌镀膜装置

半导体器件激光退火装置


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