お知らせ 2001年度
お知らせ
住重制御システムが液晶・半導体製造装置向け高精度ドライバを発売

2002年03月19日

住重制御システム株式会社(住友重機械100%出資、本社:千葉市稲毛区、社長:児新 栄太郎)は、液晶・半導体露光装置用リニアモータや半導体製造装置用ボイスコイルモータなど、高精度の位置決めに必要なモータ用ドライバ 「SDLNシリーズ」を開発し、4月1日より販売を開始しますのでお知らせします。

近年、液晶・半導体製造装置に代表される最先端の機器には、高スループットのための高速移動、高速搬送能力とともに、デバイスの微細密化に対応した低速移動時の安定性とnm(ナノメータ)単位の位置決め精度が求められています。「SDLNシリーズ」は、この高度で相反する要求に応えるために開発したモータ用ドライバです。高速移動時(PWM制御)と低速移動時(リニア制御)で制御方式を切り替えることにより、高速での大出力、低損失駆動と同時に、低速での滑らかな移動、ナノメータ単位の超高精度位置決めを実現しました。
指令入力形式は、パルス列、アナログ、デジタル方式の3種類が用意されており、パラメータ設定はWindows版設定ソフトによりパソコンから行うことができます。また、お客様のご要望に応じてカスタマイズも可能です。
「SDLNシリーズ」は、最大電流2.8A(rms)から37.3A(rms)まで、全5タイプを用意しました。

1. 特徴
(1) 高速移動と超精密位置決めを実現
高速移動時には、30kHz以上のスイッチング周波数と、デットタイムレスPWM 制御方式によりモータを駆動し、大出力と同時に低損失を実現しました。低速  移動時には、リニア制御方式に切替え超低リップル、超低ノイズによるモータ  駆動を実現し、更にナノメータ単位の超高精度位置決めを可能にしました。

(2) 電源を内蔵
ドライバ部にドライバ用電源を内蔵し一体化しましたので、単独で設置ができます。また、設置スペースを有効に利用できるように、サイズをコンパクトにまとめました。

(3) 豊富な入出力
指令入力として、パルス列/アナログ/デジタル方式の3種類が用意されており、設定およびモニタ機能としてRS232C通信チャンネルを用意しています。デジタルI/Oとして、原点リミットスイッチ入力のほか8点/8点を標準として用意しました。また、必要な入出力を増設することも可能です。

(4) 機能拡張とカスタマイズ化
お客様仕様のドータボードを接続することにより、容易に各種の機能拡張ができます。
さらにお客様の特別なご要望に対してもカスタマイズが可能です。

(5) 各種エンコーダ入力に対応
PLDの採用により、各種インクリメンタルタイプ、アブソリュートタイプのエンコーダに対応可能です。また、各種省線タイプの接続にも対応可能です。

2. 主要仕様
制御軸数: 1軸
入力電源: 3相 AC200V -15%~+10%
制御機能: 位置/速度/推力制御
制御方式: リニア制御/3相正弦波PWM制御
推力応答周波数: 500Hz以上
エンコーダ: 各種インクリメンタルおよびアブソリュートエンコーダ
指令入力形式: パルス列/アナログ/デジタルの各方式
寸法(W×H×D): 140×350×190(mm)(SDLN-025A)
重量: 7キログラム(SDLN-025A)

3.用途
液晶・半導体製造装置、電子部品製造装置、半導体・電子部品装着装置などに使用されるリニアモータおよびボイスコイルモータ
(液晶・半導体露光装置用リニアモータ、半導体製造装置用ボイスコイルモータなど)

4. 価格
40万円~

5. 売上目標
2002年度 300台   2003年度 1000台


【本件に関するお問合せ先】
住重制御システム株式会社 朋立事業センター 営業部 加藤または川津
電話 0468—69—2370

【ご参考】
 住重制御システム株式会社について
本  社: 千葉市稲毛区長沼原町826
朋立事業センター: 神奈川県横須賀市夏島町19番地
電話番号: 0468‐69‐2370(代)
資 本 金: 4億円(住友重機械工業(株)100%出資)
事業内容: 産業用サーボ制御装置、各種産業用システム、
電気、電子機器およびその応用システムの設計、製造及び販売
従 業 員: 200名
売 上 高: 50億円/年(連結)
設  立: 平成11年12月1日
営 業 所: 大阪・名古屋 など

【添付写真】
超高精度ドライバ 「SDLN-025A」

超高精度ドライバ 「SDLN-025A」