お知らせ 2001年度
お知らせ
精密一軸ステージ「SLIM Stage」ユニット発売

2001年11月27日

住友重機械工業株式会社(社長 日納義郎)は、液晶・半導体・光情報通信のデバイス製造、検査装置向けに、精密一軸ステージ「SLIM Stage(スリムステージ)」ユニットを開発し、2002年1月より販売を開始します。

液晶・半導体などのデバイスは微細化、高度化が進む一方で、低価格化が進行しており、製造・検査装置に使用される位置決め装置も、運動精度の向上に加え、低コスト化が求められています。
当社は、既に発売している精密位置決め装置(XYステージ)「Nanoplane」シリーズに加えて、コンパクトで低価格の汎用ステージ「SLIM Stage」ユニットを新たにシリーズ化します。このユニットは、リニアモータの固定子である磁石ヨーク部とエアガイドの固定子であるガイドバーとを一体化した新しいコンセプトの一軸ユニットです。リニアモータとエアガイドの採用による完全非接触構造が、接触摩擦等の外乱要因を極力抑え、高い速度安定性を実現します。スキャン動作を行う検査装置などに最適です。一軸の精密ステージとして使用することはもちろん、3台のユニットを組み合わせることにより、精密XYステージとしても使用することができます。推力別に標準ユニットを設ける予定であり、各軸に応じた推力仕様のステージを組み合わせることで、幅広い用途のXYステージに発展します。新規にステージの設計を行う場合に比べ、設計作業を簡略化でき、短期間で安価な精密ステージを供給することが可能になります。
また今回、エアーベアリングの替わりに転がり案内を用いた廉価版のステージユニットも同時に発売します。

なお、当社では「SLIM Stage」ユニットを12月5日より幕張メッセで開催される
セミコン2001に出展します。

※「Nanoplane」は住友重機械の登録商標です。


【特 長】

(1) リニアモータとエアベアリングを一体化した完全非接触型アクチュエータ

(2) 完全非接触方式のため、高いクリーン性を確保

(3) 各種推力仕様に応じたステージ・ユニットを組み合わせることにより
幅広い用途のXYステージにも対応可能

(4) 独自開発の高性能、低コストのリニアモータを採用


【主要仕様】

ス ト ロ ー ク : 100mm ~ 1400mm

駆 動 方 式 c : リニアモータ+エアーベアリング

絶対位置決め精度(※) : ±0.5μm

繰り返し位置決め精度(※) : ±5cnt(注)

速度安定性(※) : ±0.1%(@50mm/s)
   ※印の仕様については使用するリニアスケールの分解能により異なります。


【価 格】
  エアガイドタイプ : 150万円 ~
  転がり案内タイプ : 100万円 ~

 (注)cnt:Countの略、リニアスケールの1目盛。

SLIM Stage