产品介绍

精密定位装置

定位装置概念

定位装置是能使工作台面前后左右移动,从而将放置在工作台面的对象物准确的控制在工作位置上的装置。
根据移动的距离(行程)和精度(分辨率)的不同,有的用于滚珠螺杆领域,有的用于更精密的线性电机领域。对于向高密度化和细微化迈进的半导体和液晶显示器的制造装置和检验装置,要求位置精准至纳米(1毫米的100万分之一)。能达到此标准的本公司的精密定位装置,如今已成为半导体和液晶显示器领域不可或缺的部件。

超精密XY平台超精密XY平台

液晶显示器用 大型XY平台液晶显示器用 大型XY平台

主要用途

  • 半导体制造、检查装置:曝光装置、晶片检查装置等。
  • 液晶面板制造、检查装置:曝光装置、涂胶装置、检查装置、修理装置等

目标市场

半导体、液晶面板、光通信用器件的制造、
检查装置等均使用本公司的精密定位装置。
最近和设备厂家合作,正在着手面向半导体以及液晶领域的下一代机型的产品开发。

我公司的产品以右图中的超精密需求为参照。

超精密平台的市场规模

以高完成度的系统投入市场

我公司销售“Nanoplane”系列精密定位装置。从台面的构造到高精度线性电机、控制装置等全部为本公司独自开发。作为完成度高的系统能提供最适合各种用途的定位装置,这是本公司的强项。

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