激光退火是一项用于液晶显示器的制造工序中,用激光照射使玻璃基板上的硅膜转换为多晶硅的技术(退火即热处理)。用于高性能、高画质的多晶硅TFT型液晶面板制造。
以前是采用将昂贵的耐热玻璃基板投入高温(1000℃)的加热炉溶融的方式,但没有得到普及。使用激光的话,使低温(400℃左右)短时间结晶成为可能,同时由于能使用廉价的玻璃基板,成为高性能液晶显示器批量生产降低成本的关键。
受激准分子激光退火装置“ELA-TW系列”
激光退火装置目前主要用于低温多晶硅液晶显示器。其市场以每年20%的速度在增长,能适用的机种也在向数码相机用监视器、手机、PDA(移动信息终端)、笔记本电脑等扩展。因此,在液晶显示器的批量生产线上激光退火装置的导入也变得更加频繁。
以前是采用将昂贵的耐热玻璃基板放入高温(1000℃)的加热炉溶融的方式,但没有得到普及。使用激光的话,使低温(400℃左右)短时间结晶成为可能,同时由于能使用廉价的玻璃基板,成为高性能液晶显示器批量生产降低成本的关键。
我公司面向大型玻璃基板用批量生产线,开发出生产性高的“ELA-TW系列”,正在被日本国内大型液晶生产厂家采用。 此外,2002年7月与法国的SOPRA公司合作,推动采用业界最高能量和电子束稳定性的激光发生器的批量生产用“ELA-SOPRA系列”的商品化,对提高品质和提升生产性作出了贡献。 我公司作为激光退火装置的生产商,包括激光发生器在内的所有部件都是在日本国内进行生产的。 通过完善的客户服务,获取了顾客的信赖。